製品情報

半導体装置関係

• 塗布・現像装置
  • スピンコーター、デベロッパー（自動機）
  • 角型基板対応スピンコーター（自動機）
• 露光機
  • コンタクト方式マスクアライナー
  • フルオート露光機
• 洗浄機
  • ウエハ洗浄機（小型、特殊基板）
  • 自動ウエハ洗浄機（８～１２インチ）
  • 自動レジスト剥離、洗浄装置
  • 自動エッチング、バッチ式洗浄装置
• その他産業機器
  • 真空装置（真空アニール炉）
  • プラズマ式熱処理装置
  • 縦型、横型拡散炉
  • ウエハー研磨装置
• 各種中古装置の販売
  • 蒸着機
  • コーター/デベロッパー
  • 露光機（ステッパー、アライナ―）

資材関係

• 半導体装置部品（センサ、部品、加工品など）
• 各種ウエハ（SiC、シリコン、化合物、単結晶ほか）
• 各種洗浄液、薬液の販売とコンサルティング

技術サービスの提供（メンテナンス、改造など）

• 薬液系統改造による省レジスト対策
• 納入装置の改造

海外装置メーカーへの営業・コンサルティング

• 海外装置販売/購入
• 製品輸出サポート
• 製品配送、設置